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單晶爐控制系統(tǒng)解決方案

文章來源：本站人氣：1933發(fā)表時間：2015-09-01 08:53:55 【小中大】

單晶爐是生長硅單晶的主要設(shè)備，是在惰性氣體環(huán)境中，通過石墨電阻加熱器將 多晶硅加熱融化，然后用軟軸直拉法生長無位錯的單晶生長設(shè)備。下圖是單晶爐 圖片及系統(tǒng)構(gòu)造圖：



單晶爐控制系統(tǒng)相關(guān)功能如下：
1. 伺服應(yīng)用于坩堝升降及籽晶提升系統(tǒng)；
2. 觸摸屏進(jìn)行數(shù)據(jù)輸入及狀態(tài)顯示；
3. 視覺實時測量晶棒生長尺寸；
4.PLC 承載著整個系統(tǒng)的運(yùn)算及執(zhí)行。

OMRON FZ3 產(chǎn)品特點：
1. 達(dá)到前所未有的高精度測量 --500 萬像素；
2. 全景圖象處理 -- 將 2 臺或多臺相機(jī)圖象進(jìn)行合成；
3. 高動態(tài)范圍的功能 --FZ3 可以獲得高達(dá) 500 ： 1 的動態(tài)范圍；
4. 圖像失真修正 -- 減少輸送過程或照相機(jī)位置的影響；
5. 高速防光暈過濾器 -- 通過分析光的波長來消除產(chǎn)生光暈的鏡面反射。
使用FZ3特有的“圓弧搜索”功能測量“引晶”“放肩”工藝，用“邊緣搜索”功能測量“轉(zhuǎn)肩”“等徑”工藝?！耙А彪A段采集10個數(shù)據(jù)，“等徑”采集80個數(shù)據(jù)，大大提升了FZ3測量精度和數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。

以下是FZ3在OC構(gòu)造的單晶爐控制系統(tǒng)中拍攝的圖片：

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